真空泵使用要点

发布时间：2019-09-03

真空泵使用要点

 1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含化学品规定成分的或强酸强碱性气体、或半导体工艺中气体、溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。 真空泵过滤器

2.进气温度低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间加冷阱，降温至低于50℃。

3.抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此，将会缩短气镇阀寿命。

4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆炸、火灾等危险。

5.不要由一两个人移动此泵。此由人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。

6.不要继续使用已经损坏的泵，否则会有受 伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。

7.检查确定此泵接地。  真空泵过滤器

8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，可能达到70℃）。如确实需要接触，采取防护措施防止受伤。

9.安装电机保护开关。

10.不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。

11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装截止阀。 真空泵过滤器

12.排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。