真空泵过滤器是将从大气吸入的污染物（主要是尘埃）收集起来，防止系统污染，用在吸盘和真空发生器（或真空阀）之间。在真空发生器的排气口、真空阀的吸气口（或排气口）和真空泵过滤器的排气口应安装消声器。

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