真空泵过滤器用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含化学品规定成分的或强酸强碱性气体、或半导体工艺中气体、溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。

进气温度低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间加冷阱，降温至低于50℃。

抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此，将会缩短气镇阀寿命。

真空泵过滤器不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆炸、火灾等危险。

不要由一两个人移动此泵。此由人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。

不要继续使用已经损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。

检查确定此泵接地。

真空泵过滤器工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，高达到70℃）。如确实需要接触，采取防护措施防止受伤。

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